兩通、三通的手動(dòng)氣動(dòng)化學(xué)柱塞閥

    在微電子行業(yè)有許多必須用到高腐蝕性及高純度的化學(xué)品，一般都是使用昂貴的pfa材質(zhì)隔膜閥，但隔膜閥必須使用昂貴且耗時(shí)的模具配合高溫高壓的pfa注模方式達(dá)成，過(guò)程繁復(fù)；并且隔膜閥因?yàn)楸仨毻ㄟ^(guò)狹窄的通道，通道中無(wú)可避免的死角也讓研磨液的顆粒容易堵塞及聚積在窄通道內(nèi)，其壓力的損失較為大，流體的順暢度較差。

    為了克服上述技術(shù)缺陷的不足，廠家提供了一種結(jié)構(gòu)合理、耐腐蝕性強(qiáng)、壓力損失小的兩通、三通的手動(dòng)氣動(dòng)化學(xué)柱塞閥。與普通的柱塞閥相比，這種兩通、三通的手動(dòng)氣動(dòng)化學(xué)柱塞閥，結(jié)構(gòu)合理，制造簡(jiǎn)單，可根據(jù)需要選擇手動(dòng)或氣動(dòng)方式帶動(dòng)閥芯相對(duì)閥體運(yùn)動(dòng)，并通過(guò)密封圈保持旋轉(zhuǎn)時(shí)的封閉性，可輕易達(dá)到5萬(wàn)次開(kāi)關(guān)保壓測(cè)試（在10bar壓力下都可使用）；進(jìn)液口與出液口之間采用多流體通道，增加流體介質(zhì)的通流面積，進(jìn)而降低流體介質(zhì)通過(guò)柱塞閥時(shí)的流動(dòng)阻力，從而可以減輕流體介質(zhì)在流經(jīng)該柱塞閥過(guò)程中的能量損失。